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사업개요

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  • 진공밸브란

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  • 진공밸브의 개요

    반도체 전 공정 및 디스플레이공정, 신 물질 및 고기능 재료 개발, 항공부품, 나노 소자 제조공정의 많은 부분이 진공 환경에서 작업이 요구되며 산업의 발전에 따라 더욱 다양하고 많은 분야에서 진공의 활용이 요구되는 상황.

    이러한 진공 시스템을 구성하는 부품들 중 각 공정의 진공도를 적절히 유지시키는데 필요한 핵심 부품으로써, 개폐 성능은 기본이며 외부와의 차단역할, 진공시스템의 압력 별 분리, 일정한 압력유지 기능 등의 다양한 성능을 가지는 제품.

    진공 시스템용 밸브의 성능조건

    닫힌 상태에서는 밸브 차폐기능이 완벽히 요구되어 밸브 내부에서의 기체 누설이 없어야 함.

    열린 상태에서는 최대한의 Conductance를 유지.

    밸브 내부가 기름 등의 오염원이 발생되지 않아야 하며, 기체 투과율이 낮아야 함.
    (반도체, 디스플레이 제조 수율에 막대한 영향을 끼침)

    사용 압력에 따른 내압 성능이 있어야 함.

    양산 장비에 적합하도록 사용조건에 부합되는 반복 수명이 보증되어야 함.

    다양한 공정 환경에 성능이 유지되도록 내열성, 내식성이 있어야 함.

    환경요구 조건(고진공 및 고청정)

    특히 최근 전 세계적으로 반도체, 디스플레이 공정의 미세화, 생산량 증가 등의 급속한 발전과 더불어 이에 상응하는 내구성, 고청정 및 고진공의 매우 Clean한 조건이 요구되면서, 제품 개발 능력이 구비된 일부 회사에서만 생산이 가능한 상황.

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