국내 반도체 관련 기자재 업계가 간만에 활기 넘치는 모습을 연출했다. 31일부터 사흘간 서울 코엑스에서 열리는 '세미콘 코리아 2024'(SEMICON KOREA)에선 반도체 강국 한국의 소·부·장 기업들의 남다른 기술력을 뽐냈다. 인공지능(AI)과 자동차 전장시장의 성장으로 고부가 반도체 제품을 중심으로 한 시장 회복이 전망되면서 공급망 확대를 통한 성장을 예고했다.

국제반도체장비재료협회(SEMI)가 개최한 세미콘 코리아는 국내 최대 반도체 전문 전시회다. 올해는 코로나 이후 반도체 시장 성장에 대한 기대감과 함께 다수의 기업과 관람객들이 몰렸다. 글로벌 반도체 메이커는 물론, 소·부·장 기업 500여곳이 참가했다. 국내 소·부·장 기업들은 글로벌 파트너사들에게 고품질의 제품과 높은 신뢰도의 양산체제가 준비되어 있음을 강조했다.

인아그룹은 인아오리엔탈모터, 인아텍앤코포, 애니모션텍, 인아엠씨티 등 4개 계열사가 'RUN TO READ'를 슬로건으로 혁신 솔루션을 선보였다. △공간 절약에 최적화된 신규 미니 드라이버와 소형 모터 △다양한 통신 방식에 대응하는 네트워크 제품 △다양한 모션이 가능한 전동 액츄에이터 섹션 등을 전시에 관심을 끌었다.

물류 이송 현장에서 사용하는 스마트 협업 자율주행로봇 'MiR', 비대면 로봇 솔루션인 '유니버설 로봇(Universal Robots)' 협동로봇 시리즈, 로봇 '그리퍼(GRIPPER)' 등 각종 로보틱스 기술력도 뽐냈다. 애니모션텍은 반도체 및 기타 정밀 검사 측정 분야에 활용도가 높은 ANYSIS Laser 장비를 전시했다.

오킨스전자는 초정밀 반도체 검사용 소켓과 커넥터 및 다양한 쿨러 기술들을 선보였다. 특히 최근에 기술 개발을 완료한 DDR5 메모리 테스트용 인터페이스, 전장용 차세대 커넥터 성과 등을 알리는 데 주력했다.

오킨스전자 관계자는 “글로벌 반도체 수요가 늘어나며 장기간 안정적 증가세가 이어질 것이다”라며 “DDR5 시장 전환에 대응해 메모리 테스트용 인터페이스 개발을 완료하고, 양산 시스템도 갖췄다. 이번 전시 통해 성과를 알리겠다”고 말했다.

이노맥스는 매엽식(낱장 설비) '12 Wafer Scrubber'부터 '8 METAL SPIN ETCHER', 세정설비 'MASK CLEANER', 'FLUX CLEANER' 장비 등을 소개했다. 이노맥스 장비는 국내 주요 반도체 메이커를 비롯해 일본 등 다양한 지역에서 파트너사를 보유하고 있다. 회사 관계자는 “20년 이상 노하우와 베테랑 연구진 역량을 결집한 최신 설비를 선보여 최적 사용자 경험을 제공할 계획”이라고 했다.

쎄크는 고속 인라인 CT 자동 검사장비를 포함한 최신 장비를 소개했다. 생산 설비에서 고정밀 제품의 진성 불량률을 신속·정확하게 판별하고 가성 불량률을 최소화해 생산비 절감과 품질 불량률 제로화를 보장하는 장비다. 외산 장비 수입을 대체하고, 산업 경쟁력을 높일 것으로 기대된다.

프리시스는 자체 개발한 MVM SYSTEM과 ETCH, CVD, ASHER 공정에 들어가는 Rectangular gate valve, Pendulum gate valve, Throttle valve, Protection gate valve 등을 소개했다. 공정 챔버에 적용되는 초 고진공 밸브와 압력제어밸브, 유틸리티에 적용되는 다양한 Circular gate valve 등을 시연 설비를 통해 육안으로 쉽게 볼 수 있도록 구성했다. 또한, 제품을 직접 동작시켜 고객이 제품의 우수성을 직접 체험할 수 있도록 했다.

세미콘 코리아에 참가한 한 기업 관계자는 “개막일부터 많은 인파가 몰리면서 올해 반도체 시장 성장에 대한 분위기를 체감할 수 있을 정도다”라며 “국내 소·부·장 기업들이 코로나와 불황을 극복하고 준비한 혁신기술을 선보이는 만큼 많은 성과가 있길 바란다”라고 말했다.

조정형 기자 jenie@etnews.com